一般外國人之高級專業人才檢具專業證明文件向中央目的事業主管機關申請推薦理由書→向住所地戶政事務所轉送內政部→經歸化 國籍之高級專業人才審 查會審查認定為高級專業人才→內政部移民署函送臺灣地區定居證予預定申報戶籍地戶政事務所→戶政事務所依定居證辦理初設戶籍登記。持有梅花卡（永久居留）之高級專業人向住所地戶政事務所轉送內政部(無須檢附推薦理由書)→內政部函詢中央目的事業主管機關是否同意推薦→內政部移民署函送臺灣地區定居證予預定申報戶籍地戶政事務所→戶政事務所依定居證辦理初設戶籍登記。
一般外國人之高級專業人才檢具專業證明文件向中央目的事業主管機關申請推薦理由書→向住所地戶政事務所轉送內政部→經歸化 國籍之高級專業人才審 查會審查認定為高級專業人才→內政部移民署函送臺灣地區定居證予預定申報戶籍地戶政事務所→戶政事務所依定居證辦理初設戶籍登記。
持有梅花卡（永久居留）之高級專業人向住所地戶政事務所轉送內政部(無須檢附推薦理由書)→內政部函詢中央目的事業主管機關是否同意推薦→內政部移民署函送臺灣地區定居證予預定申報戶籍地戶政事務所→戶政事務所依定居證辦理初設戶籍登記。